记者今天了解到，市集监管总局近日新批准二维铬纳米栅格圭臬物资、二维硅纳米栅格圭臬物资、一维硅纳米光栅圭臬物资3项国度一级圭臬物资，大概同期得志纳米制造产业角度和长度校准需求小色网，为新一代信息技艺、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精确“标尺”。

研制高精度的纳米级圭臬物资，是打造高准确度纳米测量传递链，普及国产纳米制造居品性量可靠性的要害。二维铬纳米栅格圭臬物资打破性地弃取分步千里积原子光刻技艺，制备难度较大，可平直溯源到当然界量子化物理常数，角度完全准确性在0.001°量级，额外于把一个蛋糕按扇形等分红三十六万份。

二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在莫得划伤或碎裂的气象下，每次使用2μm×2μm，不重叠使用测量区域次数可达20000次以上。

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可愚弄于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测劝诱校准；

也可愚弄于对超精密位移传感器多种参数的光栅插手法校准。

纳米级角度圭臬物资的研制得手，完了了纳米测量领域的扁平化计量，幸免传统逐级量值传递方式变成的弱点放大，大概通过在线校准平直将高精度计量数据平直传递到企业计量现场，为我国纳米制造产业高质地发展提供有劲复旧。

(总台央视记者李晶晶)小色网